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Design and characterization of thermally actuated bimetallic membranes by michelson interferometry

DUARTE, JULIO ENRIQUE and FERNÁNDEZ MORALES, FLAVIO HUMBERTO and MARTIN-BADOSA, ESTELA (2011) Design and characterization of thermally actuated bimetallic membranes by michelson interferometry. Dyna; Vol. 78, núm. 166 (2011); 75-80 DYNA; Vol. 78, núm. 166 (2011); 75-80 2346-2183 0012-7353 .

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URL oficial: http://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article...

Resumen

This paper presents the design and characterization of thermally actuated Al-Si bimetallic membranes. The design was made with the Finite Element Method and was emphasized on optimizing the thickness ratio between the aluminum and silicon layers. The membrane deflection was measured employing the Michelson Interferometer. The experimental process was carried out with square membranes of 5 mm of side length, 10 mm in silicon thickness, and an aluminum thicknesses of 4 and 1 mm. A maximum deflection of 14 mm was obtained for membranes with 4 mm of aluminum thickness, which is consistent with predictions made by numerical calculations.

Tipo de documento:Artículo - Article
Información adicional:Derechos de autor reservados
Palabras clave:Bietallic effect, micromembranes, interferometry, Finite Element Method
Unidad administrativa:Revistas electrónicas UN > Dyna
Código ID:27824
Enviado por : Dirección Nacional de Bibliotecas STECNICO
Enviado el día :27 Junio 2014 19:02
Ultima modificación:27 Noviembre 2017 22:21
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