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Caracterización de peliculas de fosfuro de galio nitrogenado

Pulzara Mora, Alvaro and Melendez Lira, Miguel and López López, Máximo (2012) Caracterización de peliculas de fosfuro de galio nitrogenado. MOMENTO - Revista de Física; núm. 45 (2012); 34-43 0121-4470 .

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URL oficial: http://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/arti...

Resumen

Las películas de GaP1-xNx fueron depositaron por magnetrón sputtering sobre substratos silicio (100) variando la temperaturas del substrato desde 420 oC hasta 520 oC. Difracción de rayos-X muestran que las películas son policristalinas con orientación preferencial en la dirección (111). Micrografías de alta resolución tomadas en sección transversal con un microscopio electrónico de barrido, muestran un crecimiento columnar. Espectros Raman evidencian  la existencia de modos vibracionales TO y LO localizados en 370 y 408 cm-1 asociados a GaP, y un modo fonónico local alrededor de 390 cms-1 relacionado con el desorden estructural inducido por nitrógeno, debido probablemente a la incorporación de átomos y/o clusters de N en la matriz de GaP., GaPN thin films were deposited on Silicon (100) substrates, in the range of 420-520 oC by r-f magnetron sputtering employing a nitrogen–argon atmosphere. According to X-ray measurements the GaPN films are polycrystalline with preferential orientation along of (111) direction. High resolution scanning electron microscopy (HRSEM) images taken in cross sectional show a columnar growth. Raman spectra show TO and LO vibrational phonon modes at 370 and 408 cm-1 associated to GaP, and a local phonon mode around 390 cm-1, likely related with N-induced disorder or N-cluster formation in GaP host.

Tipo de documento:Artículo - Article
Palabras clave:Pulverización catódica, GaPN, Raman, SEM., Magnetron Sputtering, GaPN, Raman, SEM.
Unidad administrativa:Revistas electrónicas UN > MOMENTO - Revista de Física
Código ID:38056
Enviado por : Dirección Nacional de Bibliotecas STECNICO
Enviado el día :03 Julio 2014 18:42
Ultima modificación:06 Junio 2018 10:56
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