Escudo de la República de Colombia
Sistema Nacional de Biliotecas - Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombia Biblioteca Digital - Repositorio Institucional UN Sistema Nacional de Bibliotecas UN

Production and characterization of cr and crn hard coatings deposited by unbalanced magnetron sputtering

López Santos, Mónica B. (2013) Production and characterization of cr and crn hard coatings deposited by unbalanced magnetron sputtering. MOMENTO - Revista de Física; núm. 46 (2013); 38-50 0121-4470 .

Texto completo

[img]
Vista previa
PDF
2MB

URL oficial: http://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/arti...

Resumen

In this work, we present the results of Cr and CrN coatings deposited using unbalanced magnetron sputtering at different substrate temperatures. The layers with thickness < 1μm were produced at different temperatures (100, 300 and 500 oC) on AISI H13 steel and (100) Silicon and analyzed by XRD and SEM techniques. In both cases the diffraction peaks showed slight shifts as a function of substrate temperature. These shifts could be an indicative of the presence of compressive stress, which increases with temperature. Additionally, the analyses of scanning electron microscope (SEM) showed that the coated surfaces at temperatures < 500 oC, are characterized mainly by a morphology with a smooth appearance, compact, homogeneous and displayed columnar growth, without evidence neither of microcracking nor delamination. This behavior suggests that in this temperature range, there is a slight dependence on the substrate temperature. On the contrary, samples prepared at 500 oC showed the presence of larger grains and a more compact growth., En este trabajo se presentan los resultados de recubrimientos de Cr y CrN depositados mediante la técnica de sputtering reactivo DC con magnetrón desbalanceado. Los recubrimientos fueron producidos a diferentes temperaturas (100, 300 y 500oC) sobre acero AISI H13 y silicio (100). Los recubrimientos con espesores < 1μm fueron analizados por Difracción de Rayos X (DRX) y Microscopía Electrónica de Barrido (SEM). Los picos de difracción en los espectros de rayos X de ambos recubrimientos presentaron leves corrimientos en función de la temperatura del sustrato, lo que sería indicativo de la presencia de esfuerzos compresivos, los cuales incrementan con el aumento de la temperatura. Adicionalmente los análisis por SEM, mostraron que las superficies recubiertas a temperaturas < 500 oC, están caracterizadas principalmente por una morfología con apariencia lisa, compacta, homogénea y con crecimiento columnar; sin evidencia de microgrietas, ni delaminación, lo que sugiere, en este rango de temperaturas, una leve influencia de la temperatura del sustrato. Por el contrario las muestras preparadas a 500 oC presentaron la presencia de granos de mayor tamaño y a un crecimiento más compacto.

Tipo de documento:Artículo - Article
Palabras clave:Recubrimientos duros, PVD - Sputtering con magnetrón desbalanceado, Cr, CrN., Hard coatings, PVD - magnetron sputtering, Cr, CrN
Unidad administrativa:Revistas electrónicas UN > MOMENTO - Revista de Física
Código ID:38630
Enviado por : Dirección Nacional de Bibliotecas STECNICO
Enviado el día :03 Julio 2014 22:17
Ultima modificación:06 Junio 2018 10:59
Ultima modificación:06 Junio 2018 10:59
Exportar:Clic aquí
Estadísticas:Clic aquí
Compartir:

Solamente administradores del repositorio: página de control del ítem

Vicerrectoría de Investigación: Número uno en investigación
Indexado por:
Indexado por Scholar Google WorldCat DRIVER Metabiblioteca OAIster BASE BDCOL Registry of Open Access Repositories SNAAC Red de repositorios latinoamericanos eprints Open archives La referencia Tesis latinoamericanas OpenDOAR CLACSO
Este sitio web se ve mejor en Firefox